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格隆汇2月14日丨上海新阳(300236)(300236.SZ)公布，为了进一步巩固在国内半导体材料行业的领先地位，实现我国集成电路关键工艺化学材料的自主可控，公司拟与上海化学工业区管理委员会、上海化学工业区发展有限公司签订《投资意向协议》，变更全资子公司上海芯刻微材料技术有限责任公司注册于上海化学工业区，并启动位于上海化学工业区的项目(以下简称“项目”)建设，该项目主要用于开发集成电路关键工艺材料。经初步测算，该项目总投资金额约为5.8亿元人民币，占地约104亩。

项目预计年产500吨I线、KrF、ArF干/湿法光刻胶；年产10000吨光刻胶稀释剂；年产5000吨高选择比氮化钛刻蚀液系列产品；年产15000吨干法蚀刻清洗液系列产品。项目拟于2023年取得施工许可证，2025年底前竣工，2026年6月底前投产。

关键词： 集成电路 上海新阳 工艺化学 施工许可证